진공 펌프 오일은 진공 증류하여 증기압이 50℃에서 10^-5TORR이하 정도라야 배기 속도도 빠르고 고진공 빠른 시간내에 얻을 수 있다.
오일이 나쁘면 배기시 공기에 밀려 쉽게 밖으로 날아가며 점도와 증기압이 쉽게 변하여 모터에 부하가 걸리게 되고 진공도도 낮아진다.

① 증기압이 50℃에서 10^-5TORR이하로 낮아야 하고 탈가스가 잘된것이라야 한다.
② 윤활성 (유성, 점도등)이 그 펌프에 잘맞아야 한다.
③ 내열성이 좋아야 한다.
④ 물 분리성이 좋아야 한다.

펌프오일은 상기 교환 기간을 짐작하였으나 오염정도에 따라 교환한다.

- OIL LEVEL GAUGE 중앙까지 급유함.
- 수분, 찌꺼기등이 오일 탱크아래에 고여있으므로 매일 아침 시동전에 배기 하여 깨끗히 빼내준다.
- 네오박, MR-200은 오일이 맑고 투명하여 매우 좋은 오일이며 증기압이 10^-5TORR이하 (50℃에서)이다.